Shaanxi Puwei Electronic Technology Co., Ltd

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Braccio robotico ceramico SiC per la produzione di semiconduttori
Braccio robotico ceramico SiC per la produzione di semiconduttori
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Braccio robotico ceramico SiC per la produzione di semiconduttori

Braccio robotico ceramico SiC per la produzione di semiconduttori

  • $5

    ≥50 Piece/Pieces

Ombra:
  • Tipo di pagamento: T/T
  • Incoterm: FOB,CIF,EXW
  • Quantità di ordine minimo: 50 Piece/Pieces
  • Trasporti: Ocean,Air,Express
  • Porta: Shanghai,Beijing,Xi’an
descrizione
Caratteristiche del prodotto

marchioCeramica Puwei

Luogo D'origineCina

Tipi DiCeramica ad alta frequenza

MaterialeCarburo di silicio

Braccio Di Manipolazione Del Wafer SicProduzione di semiconduttori in carburo di silicio braccio robotico in ceramica

Confezionamento e consegna
Unità vendibili: Piece/Pieces
Tipo pacchetto: I substrati ceramici sono imballati in cartoni con rivestimenti in plastica per evitare graffi e umidità. I cartoni robusti vengono impilati su pallet, fissati con reggette o pellicola termoretraibile. In questo modo garantisce stabilità, facilità di movi
Esempio immagine:
Capacità di fornitura e informazioni aggiuntive

PacchettoI substrati ceramici sono imballati in cartoni con rivestimenti in plastica per evitare graffi e umidità. I cartoni robusti vengono impilati su pallet, fissati con reggette o pellicola termoretraibile. In questo modo garantisce stabilità, facilità di movi

produttività1000000

TrasportiOcean,Air,Express

Luogo di origineCina

SupportareThe annual production of ceramic structural components are 200000 pieces.

Certificati GXLH41023Q10642R0S

PortaShanghai,Beijing,Xi’an

Tipo di pagamentoT/T

IncotermFOB,CIF,EXW

Descrizione del prodotto

Braccio robotico ceramico SiC per la produzione di semiconduttori

Il braccio robotico ceramico in carburo di silicio (SiC) di Puwei rappresenta l'apice della tecnologia di automazione di precisione per la produzione avanzata di semiconduttori. Progettati in ceramica di carburo di silicio di elevata purezza, questi bracci robotici offrono prestazioni ineguagliabili negli ambienti di fabbricazione di semiconduttori più esigenti, garantendo un funzionamento privo di contaminazioni e un'affidabilità eccezionale per la produzione di chip di prossima generazione.

Vantaggi prestazionali critici

  • Purezza ultraelevata: generazione di particelle e degassamento pari a zero in ambienti cleanroom
  • Eccezionale stabilità termica: mantiene la precisione dimensionale a temperature fino a 1600°C
  • Resistenza chimica superiore: resiste ai gas e ai prodotti chimici corrosivi dei processi
  • Eccezionale resistenza meccanica: elevato rapporto rigidità/peso per un posizionamento di precisione

Tecnologia avanzata del braccio robotico in ceramica SiC

High-precision SiC ceramic robotic arm for semiconductor manufacturing

Braccio robotico ceramico SiC avanzato - Progettato per la precisione dei semiconduttori

Specifiche tecniche

Proprietà dei materiali

  • Materiale: carburo di silicio (SiC) di elevata purezza
  • Densità: 3,10 - 3,20 g/cm³
  • Durezza: HV 2400-2800 (Knoop 100g)
  • Rugosità superficiale: Ra ≤ 0,2 μm

Proprietà meccaniche

  • Resistenza alla flessione: 400 - 500 MPa
  • Resistenza alla compressione: >2000 MPa
  • Modulo elastico: 410 - 450 GPa
  • Resistenza alla frattura: 4,0 - 4,5 MPa·m¹/²

Proprietà termiche

  • Temperatura operativa massima: 1600°C in aria
  • Conducibilità termica: 120 - 140 W/(m·K)
  • Coefficiente di dilatazione termica: 4,0 - 4,5 × 10⁻⁶/K
  • Resistenza allo shock termico: eccellente

Specifiche delle prestazioni

  • Precisione di posizionamento: ripetibilità di ±5 μm
  • Generazione di particelle: <1 particella/cm³ (>0,1μm)
  • Compatibilità con il vuoto: nominale per vuoto ultra elevato
  • Tasso di degassamento: <1×10⁻¹⁰ Torr·L/sec·cm²

Caratteristiche principali e vantaggi competitivi

Funzionamento ultra pulito

I bracci robotici in ceramica SiC generano praticamente zero particelle e presentano un degassamento minimo, mantenendo gli standard delle camere bianche di Classe 1 e prevenendo la contaminazione dei wafer durante i processi critici dei semiconduttori, comprese le applicazioni di imballaggio microelettronico e di imballaggio di sensori .

Stabilità termica eccezionale

Con un'eccezionale resistenza agli shock termici e un'espansione termica minima, i nostri bracci SiC mantengono l'accuratezza del posizionamento di precisione attraverso i cicli di temperatura estremi incontrati nella crescita epitassiale e nel trattamento termico per componenti microelettronici ad alta potenza .

Resistenza chimica superiore

Resistente alle sostanze chimiche di processo corrosive tra cui HF, HCl, H₂SO₄ e gas di processo aggressivi, garantisce affidabilità a lungo termine in ambienti di produzione di semiconduttori difficili in cui la stabilità chimica è fondamentale per la produzione di circuiti integrati .

Elevata rigidità e precisione

L'elevato modulo elastico e l'eccezionale durezza del SiC forniscono un rapporto rigidità/peso superiore, consentendo un controllo del movimento preciso e privo di vibrazioni, essenziale per la lavorazione di semiconduttori su scala nanometrica e la produzione di moduli ad alta frequenza .

Tecnologia di gestione dei wafer di precisione

Precision SiC wafer handling arm for semiconductor fabrication

Braccio di precisione per la movimentazione dei wafer: ottimizzato per la lavorazione dei wafer da 300 mm e 450 mm

Applicazioni per la produzione di semiconduttori

Trasferimento e gestione dei wafer

Fondamentale per il trasporto automatizzato dei wafer tra apparecchiature di processo, inclusi sistemi CVD, PVD, incisione e impianto. I nostri bracci SiC garantiscono una movimentazione senza danni dei wafer da 300 mm e dei wafer emergenti da 450 mm con una precisione di posizionamento inferiore al micron, essenziale per i processi avanzati di confezionamento elettronico .

Operazioni di lavorazione di precisione

Essenziale per i processi di litografia, incisione e deposizione che richiedono precisione su scala nanometrica. L'eccezionale stabilità dimensionale del SiC garantisce prestazioni costanti nei sistemi di posizionamento multiasse per la produzione di componenti microelettronici e a microonde.

Camere di processo ad alta temperatura

Ideale per processi di crescita, diffusione e ricottura epitassiale in cui i materiali convenzionali si degraderebbero. Il SiC mantiene l'integrità meccanica e la precisione a temperature superiori a 1000°C, supportando la produzione di dispositivi di potenza avanzati.

Ambienti sottovuoto e ultra-puliti

Specificamente progettato per applicazioni ad alto vuoto e camere bianche estreme in cui la generazione di particelle e il degassamento devono essere ridotti al minimo per evitare perdite di rendimento nella produzione avanzata di semiconduttori a nodi per applicazioni a microonde e applicazioni optoelettroniche .

Vantaggi per il cliente e proposta di valore

Eccellenza operativa

  • Maggiore rendimento e affidabilità: la contaminazione particellare ridotta al minimo e l'eccezionale affidabilità si traducono in rendimenti di produzione più elevati e tempi di inattività ridotti negli impianti di fabbricazione di semiconduttori multimiliardari
  • Durata di servizio estesa: la resistenza all'usura e la stabilità chimica superiori garantiscono una durata di servizio estesa rispetto ai materiali convenzionali, riducendo la frequenza di manutenzione e il costo totale di proprietà
  • Ottimizzazione del processo: consente processi a temperature più elevate, tempi di ciclo più rapidi e un controllo del processo più rigoroso grazie alle eccezionali proprietà termiche e meccaniche della ceramica SiC
  • Efficienza energetica: l'eccellente conduttività termica riduce i requisiti di raffreddamento e migliora l'efficienza energetica complessiva nei processi di produzione dei semiconduttori

Processo di implementazione e integrazione

  1. Analisi dei requisiti e consulenza tecnica

    Valutazione completa dei requisiti di produzione dei semiconduttori, comprese le specifiche di processo, la classificazione delle camere bianche e l'integrazione con i sistemi di automazione esistenti.

  2. Progettazione e ingegneria personalizzate

    Fase di progettazione ingegneristica dettagliata che comprende analisi degli elementi finiti, modellazione termica e simulazione delle prestazioni per ottimizzare il braccio robotico per i requisiti applicativi specifici.

  3. Produzione di precisione e controllo qualità

    Processi di produzione avanzati tra cui sintesi di materiali ad elevata purezza, formatura di precisione e sinterizzazione in atmosfera controllata per ottenere proprietà meccaniche e termiche ottimali.

  4. Convalida e test delle prestazioni

    Test rigorosi tra cui verifica dimensionale, test delle proprietà meccaniche, analisi della superficie e convalida delle prestazioni delle camere bianche per garantire la conformità agli standard del settore dei semiconduttori.

  5. Integrazione e messa in servizio

    Installazione professionale con calibrazione precisa e supporto di integrazione per garantire prestazioni ottimali nel vostro ambiente di produzione di semiconduttori.

Processo di produzione avanzato

  1. Sintesi e preparazione dei materiali

    Sintesi di polvere SiC di elevata purezza con distribuzione granulometrica controllata e contenuto minimo di impurità per proprietà meccaniche e termiche ottimali.

  2. Formatura di precisione

    Tecniche di formatura avanzate tra cui stampaggio a iniezione, pressatura o fusione per creare geometrie complesse di bracci robotici con stretto controllo dimensionale.

  3. Sinterizzazione ad alta temperatura

    Sinterizzazione in atmosfera controllata a temperature superiori a 2000°C per ottenere la massima densità e una microstruttura ottimale per la massima resistenza e affidabilità.

  4. Lavorazione di precisione

    Levigatura e lucidatura del diamante per ottenere tolleranze a livello di micron, superfici critiche e l'eccezionale finitura superficiale richiesta per le applicazioni in camera bianca.

  5. Verifica della qualità

    Test completi tra cui verifica dimensionale, test delle proprietà meccaniche, analisi della superficie e convalida delle prestazioni delle camere bianche.

Certificazioni di qualità e conformità

  • Certificato ISO 9001:2015 Sistema di Gestione della Qualità
  • Conformità agli standard SEMI per apparecchiature a semiconduttore
  • Protocolli di produzione per camere bianche (Classe 100 e superiori)
  • Certificazione della purezza del materiale (minimo 99,99%)
  • Certificazioni specifiche del settore e documentazione di conformità

Funzionalità di personalizzazione

Puwei offre servizi OEM e ODM completi per i produttori di apparecchiature per semiconduttori, fornendo soluzioni su misura per requisiti di produzione specifici:

  • Geometrie personalizzate: progetti su misura per requisiti specifici di strumenti per semiconduttori e vincoli di spazio
  • Finiture superficiali: vari trattamenti superficiali e rivestimenti per esigenze applicative specifiche e condizioni ambientali
  • Caratteristiche di integrazione: interfacce di montaggio personalizzate, punti di connessione e compatibilità con i sistemi di automazione esistenti
  • Modifiche dei materiali: formulazioni SiC e materiali compositi personalizzati per requisiti prestazionali specifici
  • Test di convalida: test delle prestazioni specifici dell'applicazione, protocolli di qualificazione e supporto della documentazione

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