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Chucks a vuoto in ceramica microporosa per elaborazione affidabile del wafer

2025,08,20
I manichini a vuoto in ceramica microporosi sono ampiamente utilizzati nella lavorazione del wafer a semiconduttore, tra cui diradamento, modellatura, tassate, macinazione e pulizia. Agendo come pati di lavoro di precisione, questi apparecchi tengono saldamente i wafer in atto durante le fasi di produzione critiche.
La superficie del mandrino è realizzata in ceramica di allumina, dove si forma una struttura porosa o vuota uniforme attraverso la sinterizzazione ad alta temperatura. Applicando la pressione negativa, il sistema genera aspirazione sotto vuoto stabile per fissare saldamente i wafer e altri componenti in posizione.
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La base e il telaio possono essere fabbricati in lega di alluminio, acciaio inossidabile o ceramica, a seconda dei requisiti di processo.
Vantaggi chiave:
  • Alta durezza e durata
  • Dissipazione del calore rapida
  • Eccellente resistenza all'usura
  • Forte resistenza alla corrosione acida e alcali
  • Alta planarità, parallelismo e distribuzione uniforme del microporo
  • Superficie liscia con prestazioni affidabili e persino di aspirazione
Inoltre, i progetti non standard possono essere personalizzati per soddisfare requisiti specifici dei clienti, garantendo flessibilità tra varie applicazioni per semiconduttori.
Per ulteriori informazioni o opzioni di personalizzazione: braccio robotico a semiconduttore /semiconduttore braccio robotico /wafer che gestisce braccio ceramico
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